TOF-SIMSによるノズル表面・内壁の分析(C0446)

凹凸サンプルの組成分布評価が可能です

MST技術資料No.	C0446
掲載日	2016/11/02
測定法・加工法	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法
製品分野	製造装置・部品 日用品
分析目的	組成分布評価

概要

TOF-SIMSは元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできることや、イメージ分析が可能なことから、分布評価などに有効な手段です。
本資料では、ノズルの内壁を分析した事例を示します。
ノズル表面と内壁の分布が確認され、各部位でのピークの有無の確認ができました。

データ

サンプルの説明

結果

まとめ

ノズルプレートの表面と内壁ではコーティング材のGa、基板ではAlの分布がみられており、空間分解能よく、凹凸の評価ができております。
また、各部位を抽出することでピークの有無の確認ができております。

測定起因による注意点

※測定起因により、m/z 1～30の範囲はピークが得られない場合もあります。