ウェハ上異物・付着物の無機・有機同時定性分析(C0034)

微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定

概要

TOF-SIMSには有機物、無機物の同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できるなどの特徴がありますので、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。
Siウェハ上で純水を乾燥した事例を紹介します。光学顕微鏡では点状の異物や曇りがわずかに見えるだけです。TOF-SIMSで測定した結果、汚れ部では、炭化水素、PDMS、アミドなど自然に吸着しやすい有機成分が凝集していることがわかりました。

データ

実験概要

測定結果

適用例

• 基板の洗浄時固定部の残渣
• 異物、変色の分析
• ウォーターマークの分析
• レジストのエッチング、アッシング評価
• 洗浄面内のバラツキ
• Cu表面のCMP処理の評価
• 特定パターンの評価

MST技術資料No.	C0034
掲載日	2020/05/06
測定法・加工法	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法
製品分野	LSI・メモリ 電子部品
分析目的	組成評価・同定