特殊形状試料のSIMS測定(C0266)

固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能

MST技術資料No.C0266
掲載日2012/11/29
測定法・加工法[SIMS]二次イオン質量分析法
その他
製品分野LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
照明
製造装置・部品
分析目的その他

概要

通常、SIMS測定では数mm角で表面が平坦なチップを用いて分析を行いますが、1mm 角以下の小さなチップや特殊な形状の試料についても固定の前処理を施すことで分析が可能です。
微量成分を調べたい試料の中には、微小チップやワイヤー状試料など、通常では分析には適さない形状のものがあります(図1)。このような試料では固定を行った後に分析を行います(図2)。他にも試料の断面や側面、特殊な形状の試料においても前処理を施すことで分析が可能となる場合があります。

データ

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