GC/MS・TOF-SIMSによる粘着シートの電子部品汚染評価(C0501)

有機汚染の定性・定量・分布を複数手法の組み合わせで評価

概要

半導体デバイスの製造工程では、ダイシング用テープなど様々な粘着シートが使用されます。粘着シートは異物・汚染の原因となることがあります。そこで、本事例ではTOF-SIMS・SWA-GC/MSを用いて複合的に評価した結果をご紹介します。TOF-SIMSでは、粘着シート各材料の定性を行うことで、異物・汚染がどの粘着シートに起因するのか、また粘着シートのどの層に起因するのか同定が可能です。またSWA-GC/MSでは、どの粘着シートがもっとも汚染が少ないかを定量的に確認することができます。

データ

TOF-SIMS 表面汚染評価

ウエハ表面の粘着成分の定性及び付着状況がわかります。

図1 粘着シートAの付着結果(500μm角)

TOF-SIMS 粘着シート成分評価

異物は、粘着層のみでなく、基材の場合もあります。層構造をみることで異物原因がもれなくわかります。

図2 粘着シートAの深さ方向分析

TOF-SIMS 異物評価

異物原因が何か同定できます。

表1 異物評価のまとめ例

SWA-GC/MS 表面汚染評価

ウエハ表面有機物定性、定量することで、どの粘着シートが最も汚染が少ないかがわかります。

図3 粘着シートAの付着結果
ヘキサデカン換算定量値
  • 有機汚染量:37ng/cm2
  • DOP汚染量:7ng/cm2

MST技術資料No.C0501
掲載日2020/04/30
測定法・加工法[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
製品分野LSI・メモリ
パワーデバイス
分析目的組成評価・同定
微量濃度評価
組成分布評価
故障解析・不良解析

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
セラミックスのぬれ性原因評価 2023/12/28 セラミックスのぬれ性原因評価(C0705) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
組成評価・同定
セラミックス表面における洗浄成分の分布評価 2023/12/28 セラミックス表面における洗浄成分の分布評価(C0704) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
日用品
その他
化学結合状態評価
組成分布評価
故障解析・不良解析
セラミックスの変色原因評価 2023/12/21 セラミックスの変色原因評価(C0703) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
組成分布評価
機械部品の洗浄前後における付着成分調査 2023/04/13 機械部品の洗浄前後における付着成分調査(C0693) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
製造装置・部品
その他
組成評価・同定
撥水箇所の成分分析 2023/02/02 撥水箇所の成分分析(C0686) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
照明
ディスプレイ
製造装置・部品
酸化物半導体
高分子材料
日用品
組成分布評価
不純物評価・分布評価
光ファイバーのコアとクラッドの定性評価 2023/01/26 光ファイバーのコアとクラッドの定性評価(C0685) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
その他
電子部品
高分子材料
その他
組成分布評価
不純物評価・分布評価
その他
エポキシ樹脂硬化剤の分析 2022/11/17 エポキシ樹脂硬化剤の分析(C0678) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
高分子材料
日用品
組成評価・同定
製品調査
剥離原因となる金属界面の有機物評価 2022/11/10 剥離原因となる金属界面の有機物評価(B0285) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
製造装置・部品
酸化物半導体
故障解析・不良解析
不純物評価・分布評価
脂質のイメージング 2022/07/28 脂質のイメージング(C0674) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[MALDI-MS] マトリックス支援レーザー脱離イオン化質量分析法
バイオテクノロジ
医薬品
組成分布評価
樹脂(合成高分子)の定性・構造解析 2021/12/23 樹脂(合成高分子)の定性・構造解析(C0667) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
電子部品
製造装置・部品
日用品
組成評価・同定
化学結合状態評価
製品調査

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ