斜め加工を用いたMLCCの不純物評価 MLCC:multi-layer ceramic capacitor (C0608)

斜め加工を用いたセラミックス層の不純物分布評価

MST技術資料No.C0608
掲載日2020/06/25
測定法・加工法[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[IP法]Arイオン研磨加工
製品分野電子部品
分析目的不純物評価・分布評価

概要

積層セラミックコンデンサ(MLCC)はセラミックの誘電体と電極を多層化して大容量化を図ったコンデンサです。MLCCの電気的性質は不純物の影響を顕著に受けるため、セラミック層中不純物や電極成分拡散の評価が重要です。
MLCCに微細化に伴い、セラミック層が薄くなり不純物の評価が困難となっています。本資料では、前処理を工夫し、セラミック層の不純物評価した結果を紹介いたします。

データ

前処理

機械研磨とイオンによる加工(IP:イオンポリッシュ)を用いて、斜めの断面を作成しました。

MLCC前処理

セラミック層の不純物結果

MLCC前処理

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