IGZO膜中H濃度評価(C0328)

IGZO膜中Hについて、高感度で深さ方向分布の評価が可能

概要

IGZO膜はディスプレイ用TFT材料などに利用される酸化物半導体です。IGZO膜中のH濃度に応じてキャリア濃度が変化して電気特性が変動するため、IGZO膜を用いたデバイス特性および信頼性評価には膜中のH濃度を精度良く測定する必要があります。
SIMSを用いて加熱条件の異なるIGZO膜中のH濃度を評価した事例をご紹介します。

データ

サンプル概要

IGZOをスパッタで成膜後、3種類の条件で熱処理を行いました。(500℃、700℃、900℃)

データ

SIMS分析結果より、熱処理温度が上がるにつれ、膜中のH濃度が減少している様子が見られました。
MSTでは標準試料を用意し、測定条件を最適化することでH濃度を高精度に測定することが可能です。

MST技術資料No.C0328
掲載日2013/12/26
測定法・加工法[SIMS]二次イオン質量分析法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
製品分野酸化物半導体
分析目的微量濃度評価

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析 2023/03/23 深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析(C0692) [SIMS]二次イオン質量分析法
パワーデバイス
光デバイス
照明
ディスプレイ
微量濃度評価
製品調査
不純物評価・分布評価
二次電池負極SEI被膜の元素分布評価・化学状態評価 2021/02/11 二次電池負極SEI被膜の元素分布評価・化学状態評価(C0645) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
雰囲気制御下での処理
二次電池
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
膜厚評価
構造評価
製品調査
毛髪断面の微細構造(S)TEM分析 2021/01/14 毛髪断面の微細構造(S)TEM分析(C0643) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
ウルトラミクロトーム加工
その他
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
日用品
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
膜厚評価
ネガティブ染色による(S)TEM観察事例 2021/01/14 ネガティブ染色による(S)TEM観察事例(C0642) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
その他
医薬品
化粧品
日用品
食品
形状評価
製品調査
電子染色を用いた高分子材料の(S)TEM観察 2020/11/26 電子染色を用いた高分子材料の(S)TEM観察(C0640) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
その他
日用品
その他
形状評価
その他
二次電池正極活物質の局所領域評価 2020/07/30 二次電池正極活物質の局所領域評価(C0614) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
二次電池
化学結合状態評価
組成分布評価
構造評価
製品調査
X線小角散乱法によるAuナノ粒子の粒径解析 2020/07/30 X線小角散乱法によるAuナノ粒子の粒径解析(C0613) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[SAXS]X線小角散乱法
二次電池
燃料電池
化粧品
その他
形状評価
Xe-プラズマFIBによる構造解析 2020/07/16 Xe-プラズマFIBによる構造解析(B0255) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
X線CT法
[FIB]集束イオンビーム加工
その他
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査
二次電池正極活物質の総合評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の総合評価(C0607) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[XRD]X線回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極活物質の構造評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の構造評価(C0605) [SEM]走査電子顕微鏡法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
二次電池
形状評価
構造評価
製品調査

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ