フッ素系潤滑剤・高分子の同定(C0099)

汚染成分を同定し、汚染発生工程を推定

MST技術資料No.	C0099
掲載日	2020/05/06
測定法・加工法	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法
製品分野	電子部品製造装置・部品
分析目的	組成評価・同定

概要

フッ素系の化合物はさまざまな種類が存在します。汚染原因調査の際、フッ素系の種類の定性を行うことで、原因となった工程を調べることが可能となります。そこで、表面敏感なTOF-SIMSを用いて水はじきのよい場所に何が付着しているか分析を行いました。
各工程で使用しているフッ素系のオイルは、種類によってフラグメントパターンが異なることを利用し、指紋照合を行ったところ、工程Bのオイルに相当する物質が付着していることがわかりました。

データ

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