600V耐圧SiC Schottky Diodeのブレークダウン観察(C0183)
前処理から発光箇所特定まで一貫解析
概要
高電圧電源(2000Vまで印加可能)を用いることで、耐圧の高いダイオードに対してもブレークダウンを発生させることができます。
本事例では600V耐圧のSiC Schottky Diodeを動作させ、逆方向に高電圧まで印加することで、ブレークダウンを発生させました。カソード電極を研磨で除去後、エミッション顕微鏡観察を行い、ブレークダウン電流発生箇所を特定した事例をご紹介します。測定には市販品を用いています。
データ
MST技術資料No. | C0183 |
掲載日 | 2010/06/17 |
測定法・加工法 | [EMS]エミッション顕微鏡法
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製品分野 | パワーデバイス
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分析目的 | 故障解析・不良解析 製品調査
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