SSRMでは局所抵抗に関する知見を、EBSDでは結晶粒・粒界に関する知見を得ることができます。 EBSD測定と同一箇所でSSRM測定を行うことで、結晶粒界部を含んだ領域の局所抵抗を測定しましたので紹介いたします。
サンプルご提供:東京工業大学 山田明研究室 [Ref.] 高野他,第57回応用物理学関係連合講演会(2010年春季18p-TK-7)
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