高純度雰囲気下での前処理・測定(B0110)

XPS：X線光電子分光法  など

概要

高純度不活性ガス雰囲気下で試料前処理、搬送、測定を行うことで表面酸化、水分吸着を抑えた評価が可能です。

適用例

• 半導体電極材料
剥離面において、酸化の影響を抑えた評価ができます。
• 有機EL材料
開封から不活性ガス雰囲気下で作業を行うことで、材料の劣化を防ぎます。
• 電池材料
  Ar雰囲気下で取り扱うことで、変質しやすいLi等も評価が可能です。

データ例

雰囲気制御の有効性を切削加工後のCu表面の酸化膜厚（XPS分析）で評価しました。

CuのXPSスペクトル

装置までの移動方法とCu酸化膜厚（nm）の比較

MST技術資料No.	B0110
掲載日	2010/01/01
測定法・加工法	［XPS］X線光電子分光法 雰囲気制御下での処理
製品分野	LSI・メモリ 電子部品 二次電池 ディスプレイ
分析目的	化学結合状態評価 膜厚評価