高純度雰囲気下での前処理・測定(B0110)
XPS：X線光電子分光法 など
概要
高純度不活性ガス雰囲気下で試料前処理、搬送、測定を行うことで表面酸化、水分吸着を抑えた評価が可能です。
適用例
- 半導体電極材料
剥離面において、酸化の影響を抑えた評価ができます。
- 有機EL材料
開封から不活性ガス雰囲気下で作業を行うことで、材料の劣化を防ぎます。
- 電池材料
Ar雰囲気下で取り扱うことで、変質しやすいLi等も評価が可能です。
データ例
雰囲気制御の有効性を切削加工後のCu表面の酸化膜厚（XPS分析）で評価しました。
CuのXPSスペクトル
装置までの移動方法とCu酸化膜厚（nm）の比較
| MST技術資料No. | B0110 |
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| 掲載日 | 2010/01/01 |
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| 測定法・加工法 | ［XPS］X線光電子分光法
大気非暴露
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| 製品分野 | LSI・メモリ
電子部品
二次電池
ディスプレイ
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| 分析目的 | 化学結合状態評価
膜厚評価
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