TOF-SIMSによるポリカーボネートの劣化層の評価(C0368)

GCIB(Arクラスター)を用いることで劣化層の膜厚を評価することが可能

MST技術資料No.C0368
掲載日2020/05/06
測定法・加工法[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製品分野電子部品
太陽電池
日用品
分析目的化学結合状態評価
劣化調査・信頼性評価

概要

ポリカーボネート(PC)は熱可塑性プラスチックの一種であり、優れた透明性・耐衝撃性・耐熱性などの特長をもち、太陽電池パネル・メガネレンズ・CD・車載部品・医療機器の材料として、幅広く活用されております。今回、スパッタイオンビームにGCIB(Arクラスター)を用いてTOF-SIMS分析を行い、PC表面の劣化層の評価を行いました。
※GCIB:Gas Cluster Ion Beam

データ

ポリカーボネート(PC)に3分・10分・30分のUV処理を行い、表面を劣化させたサンプルを用意しました。
PCに由来するフラグメントイオンのデプスプロファイルを図1に示します。
UV処理を行ったサンプルでは深さ130nm程度までの領域でイオン強度が減少していました。
これはUV処理によってポリカーボネートが分解し、劣化していることを示唆しています。
また、処理時間が長いほど分解が進んでいますが、最大劣化深さは変化しないことが確認されました。
GCIBを用いることで高分子材料における100nm以下の劣化層の厚さを評価することが可能です。

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
デバイスの金属膜中および界面における金属不純物の評価 2020/12/10 デバイスの金属膜中および界面における金属不純物の評価(C0638) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
製造装置・部品
酸化物半導体
故障解析・不良解析
製品調査
キューティクルのイメージング 2020/10/08 キューティクルのイメージング(C0631) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
組成分布評価
髪表面の成分18-MEAの評価 2020/08/20 髪表面の成分18-MEAの評価(C0375) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
化粧品
組成評価・同定
組成分布評価
皮膚断面の成分分布評価 2020/08/20 皮膚断面の成分分布評価(C0355) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
日用品
組成分布評価
リチウムイオン二次電池負極の充放電サイクル試験後の劣化評価 2020/08/20 リチウムイオン二次電池負極の充放電サイクル試験後の劣化評価(C0194) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
雰囲気制御下での処理
二次電池
組成評価・同定
錠剤における薬効成分の分布評価 2020/08/20 錠剤における薬効成分の分布評価(C0190) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
医薬品
組成評価・同定
組成分布評価
二次電池正極活物質の総合評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の総合評価(C0607) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[XRD]X線回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価 2020/07/09 二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価(C0606) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
[IP法]Arイオン研磨加工
二次電池
組成分布評価
形状評価
製品調査
二次電池セパレータの構造評価 2020/07/09 二次電池セパレータの構造評価(C0604) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
斜め加工を用いたMLCCの不純物評価 MLCC:multi-layer ceramic capacitor 2020/06/25 斜め加工を用いたMLCCの不純物評価 MLCC:multi-layer ceramic capacitor (C0608) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[IP法]Arイオン研磨加工
電子部品
不純物評価・分布評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん