IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例(C0359)

IC(イオンクロマトグラフ)法でアミン類の測定が可能です

MST技術資料No.C0359
掲載日2014/10/30
測定法・加工法[IC]イオンクロマトグラフ法
製品分野LSI・メモリ
太陽電池
製造装置・部品
環境
分析目的微量濃度評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査

概要

水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)は、半導体の現像液やエッチング液として用いられています。
Siのエッチング液に用いたTMAH溶液の濃度を測定する場合、溶液中に多量に溶解したSiが夾雑物となり、測定結果に影響を与える場合がありますが、IC(イオンクロマトグラフ)法による評価ではSiの影響を受けることなく、TMAH濃度の定量分析が可能です。

データ

Siを0.4~10mg/L含有した場合の10mg/L TMAH溶液の濃度を評価しました。

Si含有量に関わらずTMAH濃度の評価が可能です。

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