IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例(C0359)
IC(イオンクロマトグラフ)法でアミン類の測定が可能です
概要
水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)は、半導体の現像液やエッチング液として用いられています。
Siのエッチング液に用いたTMAH溶液の濃度を測定する場合、溶液中に多量に溶解したSiが夾雑物となり、測定結果に影響を与える場合がありますが、IC(イオンクロマトグラフ)法による評価ではSiの影響を受けることなく、TMAH濃度の定量分析が可能です。
データ
Siを0.4~10mg/L含有した場合の10mg/L TMAH溶液の濃度を評価しました。
Si含有量に関わらずTMAH濃度の評価が可能です。
MST技術資料No. | C0359 |
掲載日 | 2014/10/30 |
測定法・加工法 | [IC]イオンクロマトグラフ法
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製品分野 | LSI・メモリ 太陽電池 製造装置・部品 環境
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分析目的 | 微量濃度評価 劣化調査・信頼性評価 製品調査
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