第一原理計算によるALD成膜におけるプリカーサ吸着シミュレーション(C0639)

基板上へプリカーサ吸着時の活性化エネルギー、反応熱の情報が得られます

概要

ALD（原子層堆積法）は気相の連続的な化学反応を利用した成膜技術であり、膜厚の厳密なコントロールが可能なことや、低温プロセスでの運用、付き回りの良さなどの理由から、微細加工が求められる半導体分野を中心に広く用いられています。一般に成膜速度が遅いALDにおいて、異なる基板間の成膜速度の差を理解するためには基板上へのプリカーサ吸着メカニズムの解明が求められます。本資料では第一原理計算によって異なる基板上のプリカーサ吸着シミュレーションを行った事例を紹介します。

データ

基板-プリカーサ間の反応について

※ダングリングボンドは水素で終端

基板上のプリカーサ吸着シミュレーション

この分析事例のPDFファイルを開く第一原理計算によるALD成膜におけるプリカーサ吸着シミュレーション

MST技術資料No.	C0639
掲載日	2020/11/19
測定法・加工法	計算科学・AI・データ解析
製品分野	LSI・メモリ酸化物半導体
分析目的	構造評価その他

関連する分析事例

掲載日	タイトル	測定法・加工法	製品分野	分析目的
2024/02/08	NMRと分子動力学計算を用いた低分子化合物-タンパク質間相互作用の解析(B0296)	［NMR］核磁気共鳴分析計算科学・AI・データ解析	バイオテクノロジ医薬品化粧品	化学結合状態評価
2023/11/09	量子化学計算によるアゾベンゼン類の電気化学特性評価(C0701)	計算科学・AI・データ解析	二次電池	化学結合状態評価
2023/02/16	毛髪の三次元構造解析(C0688)	X線CT法計算科学・AI・データ解析	バイオテクノロジ医薬品化粧品	形状評価構造評価
2022/12/08	第一原理計算によるワイドギャップ半導体窒化ガリウム（GaN）における欠陥準位の解析(C0680)	［PL］フォトルミネッセンス法計算科学・AI・データ解析	パワーデバイス太陽電池酸化物半導体	その他
2022/11/24	新型コロナウイルスゲノム解析(C0679)	計算科学・AI・データ解析その他	バイオテクノロジ	その他
2022/11/17	量子化学計算による有機分子のスピン結合定数の解析(C0677)	［NMR］核磁気共鳴分析計算科学・AI・データ解析	医薬品	化学結合状態評価構造評価
2022/08/11	量子化学計算による銅フタロシアニンのラマンスペクトル帰属(C0675)	［Raman］ラマン分光法計算科学・AI・データ解析	電子部品ディスプレイ日用品	化学結合状態評価構造評価
2022/03/24	多孔質セラミックの三次元構造観察および数値解析(C0672)	X線CT法計算科学・AI・データ解析	製造装置・部品日用品	形状評価構造評価製品調査
2022/03/03	量子化学計算による酸解離定数(pKa)の算出(C0671)	計算科学・AI・データ解析	医薬品化粧品日用品食品	化学結合状態評価
2022/01/20	リートベルト解析（Rietveld analysis）とは(B0277)	［XRD］X線回折法計算科学・AI・データ解析	パワーデバイス二次電池酸化物半導体医薬品化粧品	化学結合状態評価構造評価応力・歪み評価