AESの異物分析における注意点 電子線による異物消失リスク(B0206)

AES:オージェ電子分光法

MST技術資料No.B0206
掲載日2015/04/30
測定法・加工法[AES]オージェ電子分光法
製品分野LSI・メモリ
分析目的組成評価・同定

概要

AES分析では、微小異物の最表面の元素組成評価を行うことが可能なため、微小領域における異物分析に有用です。しかし、電子線等のダメージの影響により異物が変化したり消失してしまう可能性があります。
特に、ハロゲン元素等を含む場合は、その影響を強く受けてしまうことがあり注意が必要です。SEM観察時やAES測定時に異物が消失してしまった事例として、Siウエハ上のNaCl粒子について、AES分析を行った結果を示します。

データ

Si ウエハ上NaClの測定結果

AES測定後にNaCl粒子の消失や変形が確認されました。AES測定を行った粒子は消失しており、また、AES測定を行っていない粒子に関してもSEM観察時の電子線ダメージにより変形消失が確認されました。
このようにアルカリ金属やハロゲン元素及び酸素等を含む物質は電子線ダメージにより分解・揮発が起こる可能性があり、測定が困難な場合があります。
また、測定できた場合でも得られる結果はこのようなダメージの影響を受けたものとなる場合があります。

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