AES分析による半田ボールの酸化膜厚評価(C0528)

球体形状試料の評価事例

MST技術資料No.C0528
掲載日2018/11/01
測定法・加工法[AES]オージェ電子分光法
製品分野電子部品
製造装置・部品
分析目的組成評価・同定
組成分布評価

概要

AES分析ではSEM観察機能が付随していることから、試料表面の特定箇所を測定することが可能です。
またサブμmの微小領域での測定が可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料でも、曲率の影響を受けにくく、平坦試料と同様に特定箇所を狙って測定することができます。
以下は表面形状が異なる半田ボール表面の酸化膜厚を評価した事例です。

データ

図1 表面形状が異なる半田ボール表面の深さ方向分析結果(測定領域2μm□)

ポイント

表面形状が異なる箇所では僅かに酸化膜厚※が異なることが確認できました

※O強度プロファイルの半値幅より算出・比較、数値はSiO2換算値です。

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