はんだボール表面の酸化膜評価(C0528)
球体形状試料の評価事例
概要
AES分析ではSEM観察機能が付随していることから、試料表面の特定箇所を測定することが可能です。
またサブμmの微小領域での測定が可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料でも、曲率の影響を受けにくく、平坦試料と同様に特定箇所を狙って測定することができます。
以下は表面形状が異なる半田ボール表面の酸化膜厚を評価した事例です。
データ
図1 表面形状が異なるはんだボール表面の深さ方向分析結果(測定領域2μm□)
ポイント
・表面形状が異なる箇所では僅かに酸化膜厚※が異なることが確認できました
・微小領域測定のため、球体以外の特殊形状でも測定できます
※O強度プロファイルの半値幅より算出・比較、数値はSiO2換算値です。
MST技術資料No. | C0528 |
掲載日 | 2018/11/01 |
測定法・加工法 | [AES]オージェ電子分光法
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製品分野 | 電子部品 製造装置・部品
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分析目的 | 組成評価・同定 組成分布評価
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