高温XRDによる金属膜の評価(C0270)
昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価
概要
Pt をSi 基板にスパッタ蒸着させた試料に対して、昇温させながらOut-of-plane XRD, In-plane XRD 測定をそれぞれ行いました。両測定で、Pt(111) は500℃より高い温度ではピーク強度が増加し、半値幅が小さくなり、結晶化が進行していることが分かりました。
また、温度が上昇するにつれ、熱膨張によりピークが低角度側(格子間隔が広がる方向)にシフトしていることを確認できました。
データ
Out-of-plane XRD 測定結果
In-plane XRD 測定結果
MST技術資料No. | C0270 |
掲載日 | 2020/05/06 |
測定法・加工法 | [XRD]X線回折法
|
製品分野 | LSI・メモリ 太陽電池 酸化物半導体
|
分析目的 | 構造評価
|