HfZrOx膜の結晶構造同定・含有割合の算出(C0447)

XRD・XAFSによる複合解析で、より詳細な評価が可能

MST技術資料No.C0447
掲載日2016/11/10
測定法・加工法[XAFS]X線吸収微細構造
[XRD]X線回折法
製品分野LSI・メモリ
分析目的構造評価

概要

high-k材料や強誘電体として注目されているHfZrOx膜は、結晶構造によって誘電率等の物理的性質が大きく変化することから、結晶構造の同定・各結晶構造の含有割合の算出が重要な評価項目です。
通常XRDやXAFSによって評価可能ですが、一方の手法だけでは詳細な解析が困難な場合でも、これら2つの手法を組み合わせることでより詳細な情報が得られます。今回、XRDとXAFSの複合解析によって、HfZrOx膜の結晶構造の同定および、各結晶構造の含有割合の算出を行った事例を紹介します。

データ

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
リートベルト解析法による粉末結晶材料の構造精密化 2019/10/03 リートベルト解析法による粉末結晶材料の構造精密化(C0577) [XRD]X線回折法
計算科学・データ解析
二次電池
ディスプレイ
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
構造評価
セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価 2018/09/13 セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価(C0532) [XAFS]X線吸収微細構造
LSI・メモリ
照明
酸化物半導体
化学結合状態評価
X線吸収・発光分光によるバンド構造評価 2018/03/22 X線吸収・発光分光によるバンド構造評価(C0514) [XAFS]X線吸収微細構造
その他
LSI・メモリ
照明
酸化物半導体
その他
軟X線発光分光によるGaNの評価 2018/02/22 軟X線発光分光によるGaNの評価(C0511) [XAFS]X線吸収微細構造
その他
LSI・メモリ
照明
酸化物半導体
その他
酸化アルミニウム薄膜の局所構造解析 2017/08/10 酸化アルミニウム薄膜の局所構造解析(C0478) [XAFS]X線吸収微細構造
LSI・メモリ
製造装置・部品
化学結合状態評価
構造評価
医薬品の結晶多形評価 2017/07/13 医薬品の結晶多形評価(C0473) [XRD]X線回折法
医薬品
組成評価・同定
構造評価
XAFSによるGaNのイオン注入ダメージ評価 2017/06/29 XAFSによるGaNのイオン注入ダメージ評価(C0472) [XAFS]X線吸収微細構造
パワーデバイス
照明
化学結合状態評価
構造評価
酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価 2017/03/16 酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価(C0462) [XPS]X線光電子分光法
[XAFS]X線吸収微細構造
パワーデバイス
太陽電池
照明
酸化物半導体
その他
試料環境制御in-situ XAFSによるRuO2触媒の化学状態評価 2017/01/19 試料環境制御in-situ XAFSによるRuO2触媒の化学状態評価(C0456) [XAFS]X線吸収微細構造
燃料電池
その他
化学結合状態評価
燃料電池用PtRu触媒の雰囲気・温度制御下での金属価数評価(in-situ XAFS) 2017/01/19 燃料電池用PtRu触媒の雰囲気・温度制御下での金属価数評価(in-situ XAFS)(C0455) [XAFS]X線吸収微細構造
燃料電池
その他
化学結合状態評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん