SCMおよびSMMによるSiC Planer Power MOSFETの拡散層評価(C0401)

SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

MST技術資料No.C0401
掲載日2020/05/06
測定法・加工法[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
その他
製品分野パワーデバイス
分析目的組成分布評価
形状評価

概要

SiC Planer Power MOSFETの断面を作製し、拡散層のp/n 極性分布をSCM(走査型静電容量顕微鏡法)で評価し、キャリア濃度分布をSMM(走査型マイクロ波顕微鏡法)で定性的に評価しました。
いずれのデータからも、n+型のSource層の周囲に、p型のBody層が二層構造で形成されていることが分かり、ゲート直下にはChannel Epitaxial層が存在することが分かりました。Channel Epitaxial層の端部では、Source層に一部濃度の低下が確認されました。

データ

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
液晶ディスプレイの劣化分析 2020/06/25 液晶ディスプレイの劣化分析(C0601) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[IC]イオンクロマトグラフ法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[AFM]原子間力顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
計算科学・データ解析
ディスプレイ
微量濃度評価
化学結合状態評価
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
全固体電池の分析 2020/05/28 全固体電池の分析(C0591) その他
二次電池
組成評価・同定
構造評価
SNDMによるSiC Planer Power MOSの高感度評価 2020/05/06 SNDMによるSiC Planer Power MOSの高感度評価(C0551) [SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
パワーデバイス
形状評価
製品調査
SCMによるイメージセンサの拡散層形状評価 2020/05/06 SCMによるイメージセンサの拡散層形状評価(C0534) [SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
光デバイス
形状評価
製品調査
フコイダン食品規格基準の分析 2020/05/06 フコイダン食品規格基準の分析(C0516) [ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[IC]イオンクロマトグラフ法
[HPLC]高速液体クロマトグラフ法
その他
食品
組成評価・同定
製品調査
安全性試験
TOF-SIMS・LC/MS/MSによる三次元培養ヒト皮膚を用いた経皮吸収評価 2020/05/06 TOF-SIMS・LC/MS/MSによる三次元培養ヒト皮膚を用いた経皮吸収評価(C0495) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
クライオ加工
その他
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
組成分布評価
安全性試験
SCMおよびSMMによるSiC Planer Power MOSFETの拡散層評価 2020/05/06 SCMおよびSMMによるSiC Planer Power MOSFETの拡散層評価(C0401) [SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
その他
パワーデバイス
組成分布評価
形状評価
SIMS・SCM・TEMによるSiCパワーMOSFETの活性層評価 2020/05/06 SIMS・SCM・TEMによるSiCパワーMOSFETの活性層評価(C0291) [SIMS]二次イオン質量分析法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
パワーデバイス
微量濃度評価
形状評価
製品調査
TOF-SIMSによるニッケルめっき剥離面の評価 2020/05/06 TOF-SIMSによるニッケルめっき剥離面の評価(C0404) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
その他
LSI・メモリ
化学結合状態評価
組成分布評価
故障解析・不良解析
SMMおよびSNDMによるSiC Trench MOSFETの拡散層評価 2020/04/30 SMMおよびSNDMによるSiC Trench MOSFETの拡散層評価(C0556) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
パワーデバイス
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん