結晶Si太陽電池のキャリア分布評価(C0214)

表面凹凸のあるサンプルでのキャリア拡散層の均一性評価

MST技術資料No.C0214
掲載日2011/05/26
測定法・加工法[SEM]走査電子顕微鏡法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
その他
製品分野太陽電池
分析目的形状評価
製品調査

概要

BSF型結晶Si太陽電池について、表面側テクスチャ部および裏面側BSF部のキャリア拡散層分布をSCMにて評価した事例を紹介いたします。テクスチャ部では表面凹凸に沿ってpn接合が形成されているのに対し、BSF部ではキャリア分布に途切れがあり不均一であることが確認できます。

データ

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