トランジスタ(MOSFET)の拡散層分布評価(C0149)

SCMによる特定箇所の拡散層評価

MST技術資料No.C0149
掲載日2010/01/01
測定法・加工法[SEM]走査電子顕微鏡法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
製品分野LSI・メモリ
分析目的形状評価
製品調査

概要

市販LSI内MOSFETのSCM分析事例を紹介します。まず、特定のトランジスタの断面を機械研磨で露出します。この時、Si面はnmオーダーまで平坦に研磨されています。SCM像では層の分布が二次元的に確認できます。定量的な議論はできませんが、濃度の大小関係を大まかに知ることもできます。また、拡散層のp/n極性も識別可能です。さらに、同一箇所のSEM観察を行い、SCM分析結果と画像合成を行うことで、拡散層と上部配線構造との位置関係を明確にできます。

データ

特定トランジスタを露出

拡散層分布の観察

拡散層と上部配線の位置関係把握

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
二次電池正極活物質の総合評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の総合評価(C0607) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[XRD]X線回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価 2020/07/09 二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価(C0606) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
[IP法]Arイオン研磨加工
二次電池
組成分布評価
形状評価
製品調査
二次電池正極活物質の構造評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の構造評価(C0605) [SEM]走査電子顕微鏡法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
二次電池
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池セパレータの構造評価 2020/07/09 二次電池セパレータの構造評価(C0604) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
液晶ディスプレイの劣化分析 2020/06/25 液晶ディスプレイの劣化分析(C0601) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[IC]イオンクロマトグラフ法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[AFM]原子間力顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
計算科学・データ解析
ディスプレイ
微量濃度評価
化学結合状態評価
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
消毒前後における不織布マスクの表面形状観察 2020/06/18 消毒前後における不織布マスクの表面形状観察(C0598) [SEM]走査電子顕微鏡法
日用品
ウイルス対策関連品
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
二次電池正極活物質の劣化評価 2020/06/11 二次電池正極活物質の劣化評価(C0593) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Raman]ラマン分光法
[XRD]X線回折法
二次電池
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極導電助剤の分散状態評価 2020/05/28 二次電池正極導電助剤の分散状態評価(C0590) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Raman]ラマン分光法
二次電池
組成分布評価
構造評価
製品調査
X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察 2020/05/06 X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察(C0574) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
X線CT法
クライオ加工
化粧品
日用品
構造評価
製品調査
SNDMによるSiC Planer Power MOSの高感度評価 2020/05/06 SNDMによるSiC Planer Power MOSの高感度評価(C0551) [SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
パワーデバイス
形状評価
製品調査

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん