環境中微量金属元素分析(B0231)

ICP-MS:誘導結合プラズマ質量分析法

MST技術資料No.B0231
掲載日2017/03/09
測定法・加工法[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
製品分野環境
分析目的微量濃度評価

概要

クリーンルームや生産ラインなどの環境中に浮遊する金属元素は、製品に付着・混入することで、製品の性能悪化の原因となり得ます。ICP-MSでは、清浄なSiウエハで暴露試験を行い、表面に付着した金属元素量をpptレベルで測定することができます。
なお、事前に洗浄処理をしたSiウエハの貸出しも行っております。

ウエハ発送から分析までの流れ

分析可能な元素

  • 貸出し用ウエハは、直径200mmのものになります。その他のサイズをご希望の場合はご相談ください。
  • 幅広い元素の情報を取得したい場合は、定性・半定量分析が有効です。
    また、着目元素が決まっている場合は、定量分析をお勧めします。

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