AFMデータ集(B0247)

AFM :原子間力顕微鏡法

MST技術資料No.B0247
掲載日2018/10/25
測定法・加工法[AFM]原子間力顕微鏡法
製品分野LSI・メモリ
酸化物半導体
医薬品
日用品
分析目的形状評価

概要

AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。
金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を測定可能です。
本資料では、様々な材質のAFM像をご紹介します。

データ(半導体分野)

シリコン基板へのC蒸着およびPtスパッタリングによる表面形状評価(1μm角)

ポイント
  • 蒸着による最表面の微細な形状変化を評価することができます。
  • 試料最表面の形状を敏感に捉えることができます。

材料評価(1μm角)

基板
成膜

※突起がわかりやすい配色にしています。

ポイント
  • 各種基板・膜の表面形状の差異を観察できます。

データ(ソフトマテリアル分野)

毛髪 (50μm角)

皮膚 (5μm角)

カラーコンタクトレンズ(10μm角)

注射針(30μm角)

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