GaN基板の表面形状分析(C0708)

AFMによるステップ-テラス構造の可視化

概要

ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム(GaN)は、パワーデバイスや通信・光デバイスなどの幅広い分野で用いられています。デバイスを作製するうえで、ウエハ表面の形状と粗さはデバイス性能に大きく影響します。GaNウエハを成長させる際、支持基板との格子不整合などによる応力の影響で、表面にステップ-テラス構造が形成されます。本資料ではAFMを用いて、GaN基板表面のステップ-テラスの構造を可視化し、テラス幅、ステップ高さ、表面粗さ、オフ角を評価した事例を紹介します。

データ

AFMによるステップ-テラス構造の評価

GaN基板のAFM像（ステップ-テラス構造の可視化）、ステップ-テラス構造のラインプロファイル解析（テラス幅、ステップ高さの測長）

この分析事例のPDFファイルを開く GaN基板の表面形状分析

MST技術資料No.	C0708
掲載日	2024/04/25
測定法・加工法	［AFM］原子間力顕微鏡法
製品分野	パワーデバイス電子部品照明
分析目的	形状評価

関連する分析事例

掲載日	タイトル	測定法・加工法	製品分野	分析目的
2024/04/25	GaN基板の表面形状分析(C0708)	［AFM］原子間力顕微鏡法	パワーデバイス電子部品照明	形状評価
2022/02/24	ミクロトーム法で作製した毛髪断面の機械特性評価(C0670)	［AFM］原子間力顕微鏡法 [AFM-MA・AFM-DMA]機械特性評価（弾性率測定・動的粘弾性率測定) ウルトラミクロトーム加工その他	バイオテクノロジ化粧品日用品食品	組成分布評価形状評価製品調査その他
2021/01/21	AFM-MAによる食品（ロースハム）の機械特性評価(C0644)	［AFM］原子間力顕微鏡法	食品	形状評価製品調査その他
2021/01/21	圧電応答顕微鏡(A0071)	［AFM］原子間力顕微鏡法	電子部品	形状評価製品調査
2020/10/08	液中AFMによるマイカ基板表面の水和構造観察(C0630)	［AFM］原子間力顕微鏡法	製造装置・部品バイオテクノロジ	形状評価構造評価
2020/10/01	PDMSのAFMによる動的粘弾性評価【AFM-DMA】(C0629)	［AFM］原子間力顕微鏡法	電子部品製造装置・部品日用品	製品調査その他
2020/06/25	液晶ディスプレイの劣化分析(C0601)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法［IC］イオンクロマトグラフ法［GC/MS］ガスクロマトグラフィー質量分析法［LC/MS］液体クロマトグラフィー質量分析法［XPS］X線光電子分光法［SEM］走査電子顕微鏡法［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［AFM］原子間力顕微鏡法［SMM］走査型マイクロ波顕微鏡法計算科学・AI・データ解析	ディスプレイ	微量濃度評価化学結合状態評価形状評価構造評価劣化調査・信頼性評価
2020/05/06	液中AFM測定を用いた基板上の高分子の形状変化観察(C0508)	［AFM］原子間力顕微鏡法	電子部品ディスプレイ製造装置・部品医薬品日用品	形状評価
2020/04/30	SiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さ評価(C0555)	［SEM］走査電子顕微鏡法［AFM］原子間力顕微鏡法	パワーデバイス	形状評価構造評価劣化調査・信頼性評価製品調査
2020/03/12	加熱・冷却過程における経時変化のAFM動画観察(C0585)	［AFM］原子間力顕微鏡法	バイオテクノロジ医薬品日用品食品	形状評価