微小部XRD分析による結晶構造評価(C0246)

微小領域のXRD測定が可能

概要

X線をφ400μmに絞ってXRD測定を行うことで、面全体ではなく所定の領域を狙って結晶情報を取得した事例をご紹介します。
プリント基板サンプルのXRD測定の結果、測定箇所(1)~(3)全てでCuとBaSO4が検出され、電極である測定箇所(1)ではAu由来のピークが検出されました。XRFによる測定結果とよく一致しています。
このように組成や結晶性の異なる数百μmの領域を狙って結晶構造を同定することが可能です。

データ

XRFによる組成情報

(1)プリント基板の光学顕微鏡写真

(2)プリント基板電極部周辺の面分析(XRF分析結果)

測定箇所(1)~(3)について、φ400μmに絞ったX線でXRD測定を行いました。

XRD測定結果(X線ビーム径 φ400μm)

MST技術資料No.C0246
掲載日2012/07/05
測定法・加工法[XRD]X線回折法
[XRF]蛍光X線分析法
製品分野LSI・メモリ
電子部品
分析目的組成評価・同定
構造評価

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
X線回折・散乱技術を用いた高分子材料の階層構造評価 2022/07/07 X線回折・散乱技術を用いた高分子材料の階層構造評価(C0673) [XRD]X線回折法
[SAXS]X線小角散乱法
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
日用品
食品
構造評価
製品調査
リートベルト解析(Rietveld analysis)とは 2022/01/20 リートベルト解析(Rietveld analysis)とは(B0277) [XRD]X線回折法
計算科学・AI・データ解析
パワーデバイス
二次電池
酸化物半導体
医薬品
化粧品
化学結合状態評価
構造評価
応力・歪み評価
二次電池セパレータの構造評価 2021/08/12 二次電池セパレータの構造評価(C0604) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
[XRD]X線回折法
[TG-DTA-MS]示差熱天秤-質量分析法
[IP法]Arイオン研磨加工
雰囲気制御下での処理
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極活物質の総合評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の総合評価(C0607) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[XRD]X線回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極活物質の劣化評価 2020/06/11 二次電池正極活物質の劣化評価(C0593) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Raman]ラマン分光法
[XRD]X線回折法
二次電池
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極材料のリートベルト解析 2020/05/21 二次電池正極材料のリートベルト解析(C0589) [ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[XRD]X線回折法
計算科学・AI・データ解析
二次電池
組成評価・同定
構造評価
製品調査
高温XRDによる金属膜の評価 2020/05/06 高温XRDによる金属膜の評価(C0270) [XRD]X線回折法
LSI・メモリ
太陽電池
酸化物半導体
構造評価
リートベルト解析法による粉末結晶材料の構造精密化 2020/04/30 リートベルト解析法による粉末結晶材料の構造精密化(C0577) [XRD]X線回折法
計算科学・AI・データ解析
二次電池
ディスプレイ
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
構造評価
XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価 2017/08/24 XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価(C0480) [XRF]蛍光X線分析法
パワーデバイス
照明
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価
XRFによるウエハ上Au薄膜の付着量評価 2017/08/24 XRFによるウエハ上Au薄膜の付着量評価(C0479) [XRF]蛍光X線分析法
パワーデバイス
照明
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ