微小部XRD分析による結晶構造評価(C0246)

微小領域のXRD測定が可能

MST技術資料No.C0246
掲載日2012/07/05
測定法・加工法[XRD]X線回折法
[XRF]蛍光X線分析法
製品分野LSI・メモリ
電子部品
分析目的組成評価・同定
構造評価

概要

X線をφ400μmに絞ってXRD測定を行うことで、面全体ではなく所定の領域を狙って結晶情報を取得した事例をご紹介します。
プリント基板サンプルのXRD測定の結果、測定箇所(1)~(3)全てでCuとBaSO4が検出され、電極である測定箇所(1)ではAu由来のピークが検出されました。XRFによる測定結果とよく一致しています。
このように組成や結晶性の異なる数百μmの領域を狙って結晶構造を同定することが可能です。

データ

XRFによる組成情報

(1)プリント基板の光学顕微鏡写真

(2)プリント基板電極部周辺の面分析(XRF分析結果)

測定箇所(1)~(3)について、φ400μmに絞ったX線でXRD測定を行いました。

XRD測定結果(X線ビーム径 φ400μm)

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