酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別(C0082)

TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です

MST技術資料No.C0082
掲載日2010/01/01
測定法・加工法[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
製品分野LSI・メモリ
分析目的組成評価・同定
化学結合状態評価

概要

電子材料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン(TiO2)には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料(写真1)について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型TiO2の標準スペクトルと一致しています(図1, 2)。

データ

Ti-L2,3エッジおよびO-Kエッジは主に各々Ti2p→Ti3dおよびO1s→O2pの電子遷移に対応しています。

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