酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別(C0082)
TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です
概要
電子材料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン(TiO2)には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料(写真1)について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型TiO2の標準スペクトルと一致しています(図1, 2)。
データ
Ti-L2,3エッジおよびO-Kエッジは主に各々Ti2p→Ti3dおよびO1s→O2pの電子遷移に対応しています。