白色粉体の複合分析(C0217)

FT-IR分析とXRF分析による粉体の同定

MST技術資料No.C0217
掲載日2011/09/22
測定法・加工法[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
[XRF]蛍光X線分析法
製品分野LSI・メモリ
ディスプレイ
製造装置・部品
分析目的組成評価・同定
化学結合状態評価

概要

異物等の未知試料を分析・同定する場合、複数手法での測定結果から複合的にデータを解析することが有効です。
振動分光であるFT-IR分析と、大気中での元素分析手法であるXRF分析とを組み合わせて評価し、2種類の白色粉体の同定を行った事例をご紹介します。

データ

FT-IR分析にて白色粉体を評価した結果、2試料共に炭酸塩に特徴的なピークが検出されました。
粉体状の物質は金属の炭酸塩であることが示唆されます。

XRF分析にて白色粉体の元素を評価した結果、それぞれ特徴的に白色粉体AからはNaが、白色粉体BからはCaが検出されました。
FT-IR及びXRFの結果を総合的に解釈し、粉体AをNa2CO3、粉体BをCaCO3と同定できました。

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