化合物へテロ接合界面歪の可視化(C0010)

FFTM法による格子像解析

概要

Fast Fourier Transform Mapping法は、高分解能TEM像をフーリエ変換し、FFTパターンのスポット位置から結晶の微小な格子歪みを解析、可視化する方法です。FFTM解析により、（1）画像のx, ｙ方向の格子歪みの解析、（2）結晶面方向の格子歪みの解析、（3）結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、（4）データ分布のヒストグラム表示、（5）空間分解能5nmで0.5%の歪の検出、が可能です。
化合物ヘテロ接合多層膜試料に適用した例を示します。

データ

サンプルご提供：東京大学　霜垣幸浩先生

この分析事例のPDFファイルを開く化合物へテロ接合界面歪の可視化

MST技術資料No.	C0010
掲載日	2010/10/28
測定法・加工法	［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
製品分野	光デバイス照明
分析目的	構造評価応力・歪み評価

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