三次元SEMによる活物質体積の数値評価(C0316)

Slice&Viewデータから各物質の体積計算が可能

MST技術資料No.C0316
掲載日2013/07/25
測定法・加工法[SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
[FIB]集束イオンビーム加工
クライオ加工
製品分野二次電池
分析目的形状評価

概要

Slice&View(FIB加工とSEM観察を繰り返し数十枚の連続画像を得る手法)のデータを用いて、粒子などミクロンオーダーの体積計算を行うことが可能です。これにより、一定体積中の各物質の存在比率や平均体積等の情報を得ることができます。
本事例ではリチウムイオン二次電池正極のSlice&View分析結果から活物質の体積を計算し、存在比率を算出した事例をご紹介します。

データ

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