ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価(B0210)

XPS:X線光電子分光法

MST技術資料No.B0210
掲載日2015/06/11
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
製品分野その他
分析目的化学結合状態評価
膜厚評価

概要

XPS分析ではX線照射により得られた光電子のエネルギーを観測することにより、物質表面の結合状態評価を行います。金属元素が酸化状態にあるかどうかの評価はもちろん、酸化によるエネルギーシフト(ケミカルシフト)が大きい元素では、複数の価数の存在、及び存在割合についての評価も可能となります。以下に、複数価数評価可能な主な金属元素と酸化物を示します。

複数価数評価可能な主な金属酸化物

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