TDSによる脱離成分の推定(C0453)
複数質量の脱ガスパターンを比較します
概要
TDSの分析結果では、一つの質量電荷比（m/z）に対して複数の成分が検出されることがあります。このような場合でも、複数の質量について測定を行い脱ガスパターンを比較することで、昇温加熱により脱離した成分を推定することが可能です。
Si基板上W膜のTDS分析結果を例に、水とアンモニア（m/z=17）、有機物とアルゴン（m/z=40）の成分推定方法について説明します。
データ
（1）水とフラグメントイオン
H2Oが脱離した場合は、m/z=18の強度に対し一定の割合でm/z=17（フラグメントイオンのOH+）が検出されます。
（2）アンモニア
アンモニア（NH3）はm/z=17に検出されるので、m/z=17と18の脱ガスパターンが異なる場合は、水だけではなくNH3+が検出されたと推定されます。
（3）アルゴン
Arが脱離した場合は、m/z=40の強度に対し一定の割合でm/z=20（Ar++）が検出されます。
（4）有機成分
m/z=40の脱ガスパターンがm/z=20（Ar++）と異なりm/z=15（CH3+有機物のフラグメントイオン）と挙動が似ている場合は、m/z=40は有機物（C3H4+など）起因の脱ガスであると推定されます。
※脱ガス成分を推定するためには定性分析（
m/z 2～199に対応）が有効です。
| MST技術資料No. | C0453 |
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| 掲載日 | 2016/12/08 |
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| 測定法・加工法 | ［TDS］昇温脱離ガス分析法
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| 製品分野 | LSI・メモリ
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| 分析目的 | 組成評価・同定
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