真空中での有機成分の脱離評価(C0566)

複合解析により特定の有機成分の脱離について温度依存性評価が可能です

概要

TDS（昇温脱離ガス分析法）は真空中（1E-7 Pa）で試料を昇温しながら脱離成分と脱離温度を確認できる手法です。さらに有機物を同定できるGC/MS（ガスクロマトグラフィー質量分析法）とTDSの結果を組み合わせて解析することで、真空中において、特定の脱離成分の脱離温度について評価が可能です。
以下にグラフェンについてTDSとGC/MSの複合解析を実施した例をご紹介します。

データ

ポイント

TDSとGC/MSの複合解析

• TDS： 複数の有機成分が400℃くらいまでに脱離
  
• GC/MS（何が）：フラン、無水マレイン酸が検出
  
• TDS（何℃で）：上記2成分の質量をプロット
  

真空中での脱離温度が分かります。

• フランは約200℃
• 無水マレイン酸は約100℃

適用例

• 真空用接着剤の評価・有機膜の脱離ガス評価
• ウエハ上や部材の有機物汚染評価

MST技術資料No.	C0566
掲載日	2019/05/30
測定法・加工法	［GC/MS］ガスクロマトグラフィー質量分析法 ［TDS］昇温脱離ガス分析法
製品分野	電子部品 二次電池 ディスプレイ
分析目的	微量濃度評価 その他