球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察・高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。
※Giant Magneto Resistive Effect(巨大磁気抵抗効果) (資料提供:株式会社日立ハイテクノロジーズ)
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