DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比高精度定量化(C0379)
XAFSによる高精度解析
概要
コーティング材料として幅広い分野で用いられているDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜はミクロな視点から見ると、ダイヤモンド構造に対応するsp3混成軌道有する炭素元素と、グラファイト構造に対応するsp2混成軌道を有する炭素元素が混ざり合って構成されています。
DLC膜の特性を決める一つの指標として、sp2/(sp2+sp3)比が挙げられます。XAFSによってDLC膜のsp2/(sp2+sp3)比の高精度定量化が可能です。
データ
従来の手法では分離の精度が不十分であったDLC膜のsp2/(sp2+sp3)比をXAFSによって高精度に評価することが可能です。検出深さ数nm程度の情報が得られます。
MST技術資料No. | C0379 |
掲載日 | 2015/04/23 |
測定法・加工法 | [XAFS]X線吸収微細構造
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製品分野 | 電子部品 製造装置・部品 日用品
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分析目的 | 化学結合状態評価 構造評価
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