TOF-SIMS・LC/MSによる有機EL(OLED)の構造評価(C0490)

1画素ごと、各層ごとに成分を同定することが可能です

MST技術資料No.C0490
掲載日2020/04/30
測定法・加工法[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
製品分野照明
ディスプレイ
分析目的組成評価・同定
化学結合状態評価
形状評価
膜厚評価
故障解析・不良解析
製品調査

概要

今後需要が拡大する有機ELの信頼性向上のため、詳細な構造解析や状態分析、劣化原因の特定がさらに重要となります。TOF-SIMSとLC/MSを用い、層構造や材料を評価した事例をご紹介します。 TOF-SIMSにより、層構造と各層の成分情報を評価できました。TOF-SIMSで明らかになった質量Eの成分についてLC/MSおよび蛍光検出器による分析を行い、発光波長の評価と成分の構造を把握することができました。このように、TOF-SIMSとLC/MSを組み合わせた分析により、詳細な評価が可能です。

データ

TOF-SIMS

LC/MS+蛍光検出器

ポイント

TOF-SIMSとLC/MSの組み合わせで、より詳細な成分情報が取得可能

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医薬品
化粧品
日用品
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環境
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光デバイス
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酸化物半導体
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