XPSによる結合状態マッピング(C0592)

mmオーダーで試料表面の汚染、表面処理等の分布評価が可能です

概要

本資料では、XPSを用いた結合状態マッピングにより、有機汚染を評価した例をご紹介します。こちらの結合状態マッピングは、着目元素のXPSスペクトルを面内で数百点取得し、特定の結合状態に対応するエネルギー位置のピーク強度の分布を描画することで得られます。着目エリアの大きさに応じて、1mm ～20mm□程度の任意サイズを評価領域として設定可能で、特にmmオーダーの汚染、変色、表面処理等の評価に適しています。元素に関しては、炭素以外にも金属やSiについて同様の評価が可能です。

サンプル概要

XPSによる結合状態マッピングアクリル平板の表面に油性ペンで描線し、有機物(ペン顔料)を付着させた疑似有機汚染サンプルを作製しました。

右の写真□の領域において、縦15点×横30点の計450点でC1sスペクトルを取得し、マッピング評価を実施しました。（X線ビーム径：約100μmφ 測定中心の間隔：約400μm）

炭素（C1s）結合状態の評価

結合状態マッピング

評価可能な結合状態の例

・樹脂表面のCの状態評価
　　　（C-C,C-H/C-O/CFx 等）
・金属,Si系膜の表面の状態評価
　 (金属(Si)/酸化物/フッ化物等)

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MST技術資料No.	C0592
掲載日	2020/06/04
測定法・加工法	［XPS］X線光電子分光法
製品分野	電子部品製造装置・部品日用品
分析目的	化学結合状態評価

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