XPSによる結合状態マッピング(C0592)

mmオーダーで結合状態の分布評価が可能です

MST技術資料No.C0592
掲載日2020/06/04
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
製品分野電子部品
製造装置・部品
日用品
分析目的化学結合状態評価

概要

本資料では、XPSを用いた結合状態マッピングにより、有機汚染を評価した例をご紹介します。こちらの 結合状態マッピングは、着目元素のXPSスペクトルを面内で数百点取得し、特定の結合状態に対応する エネルギー位置のピーク強度の分布を描画することで得られます。着目エリアの大きさに応じて、1mm ~20mm□程度の任意サイズを評価領域として設定可能で、特にmmオーダーの汚染、変色、表面処理 等の評価に適しています。元素に関しては、炭素以外にも金属やSiについて同様の評価が可能です。

サンプル概要

XPSによる結合状態マッピング アクリル平板の表面に油性ペンで描線し、有機物(ペン顔 料)を付着させた疑似有機汚染サンプルを作製しました。

右の写真□の領域において、縦15点×横30点の計450点 でC1sスペクトルを取得し、マッピング評価を実施しました。 (X線ビーム径:約100μmφ 測定中心の間隔:約400μm)

炭素(C1s)結合状態の評価

炭素(C1s)結合状態の評価

結合状態マッピング

結合状態マッピング

評価可能な結合状態の例

・樹脂表面のCの状態評価
    (C-C,C-H/C-O/CFx 等)
・金属,Si系膜の表面の状態評価
  (金属(Si)/酸化物/フッ化物等)

評価可能な結合状態の例

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