EELSスペクトラムイメージング(B0149)

TEM:透過電子顕微鏡法 EELS:電子線エネルギー損失分光法

MST技術資料No.B0149
掲載日2010/10/21
測定法・加工法[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
製品分野LSI・メモリ
電子部品
二次電池
燃料電池
分析目的組成評価・同定
組成分布評価

EELS分析 データフォーマット

STEM装置:HD-2700のEELS装置にGatan Enfinaを採用、EELSスペクトラムイメージングによるナノメートルスケールでの評価が可能です。
全ての測定点(ピクセル)でEELSスペクトルデータを取得しておりますので、面分析後に着目領域のスペクトルやライン上の元素分布を抽出することが可能です。

半導体材料・電池材料・カーボン材料・高分子材料において、ナノメートルスケールの詳細な情報を取り出し、元素分布や化学状態を評価するのに有効です。

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