固体試料表面の質量分析法の使い分け(B0266)

TOF-SIMS, MALDI-MS

概要

代表的な固体試料表面の質量分析法であるTOF-SIMSとMALDI-MSでは、ともに定性分析やイメージング分析が可能です。ハードイオン化法を利用するTOF-SIMSでは、質量が数百までの無機・有機成分を高感度に検出できます。一方、ソフトイオン化法を利用するMALDI-MSでは、数千～数万の高分子を検出できます。また、照射ビームの径に依存してイメージの空間分解能も異なります。目的成分やイメージング視野の大きさなどに応じて、両手法を使い分けることが有効です。

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MST技術資料No.	B0266
掲載日	2021/03/11
測定法・加工法	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法その他
製品分野	照明ディスプレイ製造装置・部品バイオテクノロジ医薬品化粧品日用品食品
分析目的	組成評価・同定化学結合状態評価組成分布評価

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