2次元検出器を用いたX線回折測定(B0212)

XRD:X線回折法

MST技術資料No.B0212
掲載日2015/08/13
測定法・加工法[XRD]X線回折法
製品分野LSI・メモリ
酸化物半導体
分析目的構造評価

概要

2次元検出器を用いてX線回折を測定することで、格子定数(2θ方向)に加えて、モザイク性(χ方向)のばらつきを可視化することができます。
強く配向していればスポット状に、配向性が弱まるとリング状に観測されるデータが得られるため、結晶の配向性が特性に影響を与える材料の評価に有効です。

原理

XRDの検出器にはいくつか種類があり、0次元検出器では強度情報のみを得られますが、2次元検出器では強度だけではなく位置情報を有しています。2次元検出器を用いることで回折の可視化が可能です。

0次元検出器(シンチレーションカウンタ)

検出面に位置情報はありません。
回折強度の情報のみが得られます。

2次元検出器

検出面に2θとχ方向に対する位置情報を有します。
回折面間隔だけではなく、結晶方位のばらつきも評価できます。

X線回折のイメージ図

0次元検出器(シンチレーションカウンタ)または1次元検出器
⇒回折角度2θ vs 回折強度プロファイル

2次元検出器
⇒回折角度2θ vs 傾き角度χマッピング
1次元プロファイルに変換可能です。

データ例

単結晶試料では2θ(格子定数)およびχ(結晶方位の傾き)のばらつきが小さいためスポット状に観測されますが、強配向あるいは無配向試料ではχ方向への広がりが大きくなります。

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
リートベルト解析法による粉末結晶材料の構造精密化 2019/10/03 リートベルト解析法による粉末結晶材料の構造精密化(C0577) [XRD]X線回折法
計算科学・データ解析
二次電池
ディスプレイ
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
構造評価
医薬品の結晶多形評価 2017/07/13 医薬品の結晶多形評価(C0473) [XRD]X線回折法
医薬品
組成評価・同定
構造評価
HfZrOx膜の結晶構造同定・含有割合の算出 2016/11/10 HfZrOx膜の結晶構造同定・含有割合の算出(C0447) [XAFS]X線吸収微細構造
[XRD]X線回折法
LSI・メモリ
構造評価
粉体異物の定性分析 2016/02/18 粉体異物の定性分析(C0408) [FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
[XRD]X線回折法
[XRF]蛍光X線分析法
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
故障解析・不良解析
2次元検出器を用いたX線回折測定 2015/08/13 2次元検出器を用いたX線回折測定(B0212) [XRD]X線回折法
LSI・メモリ
酸化物半導体
構造評価
極点測定 2015/08/13 極点測定(B0213) [XRD]X線回折法
LSI・メモリ
構造評価
XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価 2015/06/25 XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価(C0384) [SEM]走査電子顕微鏡法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[XRD]X線回折法
パワーデバイス
形状評価
構造評価
X線によるZn系バッファ層の複合評価 2013/07/04 X線によるZn系バッファ層の複合評価(C0282) [XPS]X線光電子分光法
[XRD]X線回折法
[XRR]X線反射率法
その他
太陽電池
酸化物半導体
組成評価・同定
化学結合状態評価
膜厚評価
構造評価
金属膜の高温XRD評価 2013/06/13 金属膜の高温XRD評価(C0270) [XRD]X線回折法
LSI・メモリ
太陽電池
酸化物半導体
構造評価
IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価 2012/12/27 IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価(C0283) [XRD]X線回折法
[XRR]X線反射率法
LSI・メモリ
ディスプレイ
酸化物半導体
膜厚評価
構造評価
熱物性評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん