CIGS薄膜太陽電池の原子レベル構造分析(C0339)

Csコレクタ付STEMによる原子レベル分解能EDX分析

概要

TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。
本事例ではCIGS薄膜太陽電池の光吸収層の高分解能（HR）-STEM観察とEDX元素分布分析を行ったデータを紹介します。4種類の元素からなる多結晶構造を持つCIGSにおいて、原子分解能レベルのEDX分析を行うことで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができました。

データ

図1 CIGS太陽電池の断面

CIGS〈110〉

図3 原子配列イメージ

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MST技術資料No.	C0339
掲載日	2014/04/17
測定法・加工法	［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
製品分野	太陽電池
分析目的	組成分布評価形状評価膜厚評価構造評価

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